单福凯、刘国侠课题组的论文“Low-Temperature, Nontoxic Water-Induced Metal-Oxide Thin Films and Their Application in Thin-Film Transistors”于近日发表在Wiley旗下的“Advanced Functional Materials”上(IF=10.4,http://dx.doi.org/10.1002/adfm.201500056),并被主编评价为非常重要和非常紧急(Your manuscript has been judged to be very important and very urgent, it will be copyedited, proofread, and published online with maximum priority)。
该课题组世界首创性地利用“水性溶胶”技术制备薄膜晶体管(Thin-Film Transistor, TFT)并得到极佳的电学性能。“水性溶胶”技术克服了传统溶胶工艺对有机溶剂的依赖,仅利用水和金属硝酸盐即实现了高性能TFT器件,其制备过程更加廉价、低能耗、环保。其次,水溶胶中金属离子与水分子形成了独特的静电吸引力,相比于传统有机溶剂中共价键的形式,在低温下即可断裂,因此分解温度更低(<250 ℃),该技术适合制备柔性微电子器件。同时,该研究世界首次利用“水性溶胶”技术制备氧化钇超薄高介电常数薄膜,极大了缩小了微电子器件的操作电压(从40 v降低到1.5 v),仅利用一节干电池即可驱动,对低能耗微电子器件的研发具有重要的意义。“水性溶胶”技术的成功实施将推动该微电子产业走向更加绿色环保的道路。该微电子器件的研制将对平板显示领域、生物探测领域、以及x光探测器的应用开发产生重要影响。
单福凯、刘国侠课题组长期从事介电材料、半导体材料及微电子器件的研究,致力于研发超薄高k介电材料取代传统SiO2。2014年以来,先后在该领域发表高水平SCI论文10篇(Appl. Phys. Lett., ACS Appl. Mater. Inter., Adv. Funct. Mater.等)。该课题组率先采用绿色环保的“水性溶胶”技术自主研发了多种超薄高k介电薄膜(AlOx、YOx、ZrOx),其介电、漏电特性满足高性能平板显示器等应用对栅介电层的要求。课题组研究方向为半导体材料和介电材料的性质以及器件的研究,包括薄膜太阳能电池、用于发光显示的透明薄膜晶体管、太阳盲光电探测器、用于电动轿车的绝缘栅双极功率晶体管(IGBT)等。
该课题组目前主持青岛大学科研启动基金、国家自然科学基金项目(溶液法制备超薄高k介电层和InMZnO体系透明薄膜晶体管的关键问题研究,项目编号51472130)、省自然科学基金项目【在柔性衬底上n-ZnO/p-NiO薄膜的低温生长于性能研究,项目编号ZR2011FM010;柔性衬底上基于ZnO合金的透明薄膜晶体管(TTFT)的研究,项目编号ZR2012FM020】。总经费超过300万元。发表SCI文章50余篇,其中以第一作者和通信作者发表高水平SCI文章40余篇。授权发明专利4项。据美国情报研究所统计,以第一作者发表的文章被他人引用1400余次。其中一篇文章最高被他引220余次,被他引超过100次的文章有7篇。