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准分子脉冲激光器
2016-09-26 21:06  
设备编号 2013132702 仪器负责人 李山东
中文名称 准分子脉冲激光器  英文名称  Excimer laser pulse
规格型号  型号COMPexpro201  规格201 产地国别 美国
仪器安放地址 青岛大学中心校区西院科技馆四层401 
主要科学领域 薄膜生长
主要技术指标

波长248nm;最大脉冲能量700mJ; 平均能量5W; 最大频率10Hz; 脉冲延迟25ns; 脉冲稳定性1%; 光束维度24*10mm; 光束分散度3*1mrad 

主要功能    利用激光与气体、液体、固体的相互作用,实现激光气象分解沉淀,激光固体销蚀淀积,激光晶化,激光改性等性能。 
 

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